微型半導體薄膜電子制冷器

          微型半導體薄膜電子制冷器

          交易信息:
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          技術(shù)領(lǐng)域:
          應(yīng)用領(lǐng)域:
          最后更新時間:2022-07-29 15:53
          所在地:
          吉林省 長春市 南關(guān)區(qū)
          所有者:
          飆飆
          聯(lián)系方式:
          13756056562

          有效冷卻日趨高功率和高發(fā)熱密度化的微-納電子元件是保證半導體器件運行高效、安全、可靠的決定性因素。使用薄膜型電子制冷器進行控溫是當今制冷領(lǐng)域唯一可行的技術(shù)路徑。本工作利用自主研發(fā)的物理氣相沉積設(shè)備,開發(fā)新的合成技術(shù)和MEMS加工方法,成功制備具有高效散熱功能的微型BiTe基薄膜制冷器件。用于集成電路芯片的微區(qū)制冷、通訊領(lǐng)域中激光二級管等光電設(shè)備的控溫以及生物醫(yī)藥研究領(lǐng)域中的微區(qū)制冷等。

          技術(shù)特點

          微型熱電薄膜制冷器件的制備方法與現(xiàn)有半導體加工技術(shù)相兼容,可有效調(diào)節(jié)微-納尺度范圍內(nèi)的高密度熱流,工作響應(yīng)時間<10ms。器件集成面積<1mm2,厚度<0.6mm,工作電流~200mA時可以實現(xiàn)約15度的局部致冷溫差,有效散熱密度>350W/cm2。

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